我国已经成为了全球第二大经济体,但是过去粗放型的经济发展模式已经不能满足我国的发展需求。现在的发展模式必须向高效节能的环保模式转变,向创新驱动转变,向重视经济发展质量转变,着力提高我国绿色全要素生产率（GTFP）。随着科学技术的进步以及经济全球化,科技、知识、网络信息等因素在全球经济竞争中成为了主角,从1988年开始,我国就实行了以发展高新技术产业开发区为主要内容之一的火炬计划,各省市纷纷成立高新区,大力发展高新技术产业。截止2019年,我国已经建立了169个国家级高新技术开发区,高新技术产业集聚初具规模。产业集聚是在区域经济发展进程中出现的重要经济现象之一,其有利于充分发挥集聚效应,提升产业的经济效应和社会效应,推动区域经济高质量发展。但是也可能产生拥挤效应等不良影响从而导致规模不经济,阻碍经济社会的健康发展。那么,目前我国高新技术产业集聚是否利于我国GTFP的提升呢?以及具体是如何影响的呢?基于以上两个问题,本文通过文献分析法、定性与定量分析法以及规范与实证分析法,先对目前的相关研究进行梳理;再以集聚经济理论、规模经济理论、经济增长理论及新地理经济理论作为理论分析的依据,最后以我国除西藏以外的30个省2006-2017年的面板数据为样本,采用系统GMM模型,实证检验二者关系,研究结果表明:从理论层面上,高新技术产业集聚对GTFP的促进作用,主要是通过提高规模效率、资源配置效率以及技术进步水平来实现的。但是可能在产业不同发展阶段会存在不同的抑制GTFP的因素。高新技术产业集聚的专业化集聚模式、多样化集聚模式和企业竞争度对GTFP的影响也各有不同。首先,在高新技术产业集聚区内可充分发挥规模经济效应,提高规模效率和资源配置效率,强大的技术溢出效应,也能推动技术进步。并且其产出高、能耗低、污染小,对生态环境影响较小。其次,从产业发展生命周期来看,高新技术产业聚集对绿色要素生产率的不利影响主要是因为前期集聚经济效益不明显、和后期过度集聚产生的拥挤效应、垄断、环境污染等导致的。高新技术产业专业化集聚主要是通过各企业间的专业化分工合作,以及行业内的技术知识溢出效应来提高技术创新能力。但如果同质化严重,或是形成垄断将不利于绿色全要素生产率的提高。其多样化集聚可在差异化的企业之间产生互补性的知识溢出效应,有利于交叉性新型行业的出现,促进产业结构升级。但多样化发展可能会导致企业间的合作缺乏紧密性和长期性,不能形成良好的合作机制。良性竞争可激发企业创新活力,但恶性竞争将严重阻碍市场运行,不利于经济发展。从实证分析层面,本文通过单位根检验、协整检验发现高新技术产业集聚与绿色全要素生产率存在长期均衡关系;而为克服内生性问题,最终采取系统GMM模型进行回归。首先,高新技术产业集聚对绿色全要素生产率具有显著的正向作用,且这种正向关系比较稳健,即高新技术产业集聚利于GTFP的增长。高新技术产业集聚与规模效率、资源配置效率和技术进步是显著的正向关系,即高新技术产业集聚对GTFP的促进作用主要是因为其有利于高新技术产业的生产规模效率和要素资源的配置效率的提升,以及技术的创新。最后,高新技术产业专业化集聚、多样化集聚与GTFP是正向关系,说明其有效体现了MAR外部性和Jacobs外部性,提高了GTFP的水平。但高新技术产业集聚的企业竞争度对绿色全要素生产率有明显的负向作用。过度竞争不利于健康市场的形成,不利于经济发展。研发投入、开放水平、购买力水平及环境规则强度对GTFP的提升均有正向促进作用,仅政府干预程度对GTFP的提升有消极的影响。基于理论分析和实证检验,提出以下建议:（1）完善政策法规体系,营造良好市场环境,促进高新技术产业集聚区发展;（2）加强专业化发展的基础上注重多样化集聚,避免恶性竞争;（3）协调区域发展,推动高新技术产业梯度转移。