【摘 要】
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该文详细讨论了一种压阻式高g值微硅加速度传感器的方案确定、尺寸和工艺设计及样品的试制.论文首先对微硅加速度传感器的发展进行了综述,结合国内外关于微硅加速度传感器研
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该文详细讨论了一种压阻式高g值微硅加速度传感器的方案确定、尺寸和工艺设计及样品的试制.论文首先对微硅加速度传感器的发展进行了综述,结合国内外关于微硅加速度传感器研究的代表性产品,讨论微硅加速度传感器的发展状况.论文其次从结构及检测机构上简要介绍加速度传感器的原理,分别对三种主要类型的加速度计:压阻式、电容式和隧道效应式加速度传感器进行了横向及纵向比较;对于该课题——高g值加速度计,结合国内外的设计方案,并进行比较,提出了工艺简单易行的实施方案.论文详细讨论了采用悬臂梁结构的高g值微硅加速度传感器的结构参数设计.确定出硅/二氧化硅/硅键合工艺的三维微硅加速度传感器方案;按照工艺要求,合理布局,设计出掩模版.论文给出了高g值微硅加速度计的工艺流程.通过工艺流水,设计出高g值微硅加速度传感器的样品,对样品进行部分-结构参数和电学参数的测试.最后,提出该加速度计设计方案的改进意见.
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