【摘 要】
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谐振式集成光学陀螺是基于Sagnac效应的新型光学传感器,它的核心敏感部件——集成光学环形谐振器是此种陀螺设计和制造的关键。本论文首先对谐振腔进行理论研究,分析了环形谐
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谐振式集成光学陀螺是基于Sagnac效应的新型光学传感器,它的核心敏感部件——集成光学环形谐振器是此种陀螺设计和制造的关键。本论文首先对谐振腔进行理论研究,分析了环形谐振腔的基本结构参数以及光源线宽对谐振腔谐振特性的影响,再建立琼斯矩阵法模型分析谐振腔的偏振特性,为优化设计集成光学环形谐振器提供了理论基础。最后基于集成光学陀螺应用背景,提出了一种硅基波导谐振器优化设计方案,利用等离子体增强化学汽相沉积法（PECVD）和反应离子刻蚀（RIE）工艺制作了硅基SiO2光波导环形谐振器,波导损耗仅为0.02dB/cm。对硅基SiO2光波导环形谐振器性能进行测试,测出了谐振腔的谐振曲线,测量精细度为16.7。为谐振式集成光学陀螺的进一步研究提供了参考。
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