飞秒激光在金属表面微加工的研究

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本文主要对飞秒激光应用于金属表面微加工的理论基础与实验进行了研究。其中包括飞秒激光与金属间相互作用的过程和机理。具体讨论了飞秒激光能量在不锈钢试件表面上的沉积,激光烧蚀的过程,热作用区域的扩散,烧蚀物质的喷溅,试件表面上等离子体的形成以及激光作用后,物质内部发生的各种变化,内部结构,成份的改变等。参考相关文献利用分子热动力学和双温模型对这些现象提出一定的解释。对飞秒激光加工系统进行了分析,分析了啾波脉冲放大的工作原理。为利用飞秒激光加工系统在不锈钢表面实现微加工提供了理论支持。工作主要包括:1.分析了飞秒激光加工的基本原理及飞秒激光与金属间相互作用机理。掌握了利用飞秒激光加工系统加工金属的基本工艺参数。2.利用Clark公司的飞秒激光加工系统对不锈钢试件表面进行了一系列的基础烧蚀实验。为后期的微加工实验积累数据。3.通过光学显微镜观测不锈钢的烧蚀状态,确定其在不同能量强度,不同作用次数等条件下的烧蚀率,烧蚀面积等工艺指标。4.应用G代码控制工作台加工出汉字结构,并对实验结果进行了分析,最后根据实验数据分析提出若干提高加工质量的方法。
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