【摘 要】
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共焦显微镜由于采用了“共焦”技术而获得了比普通光学显微镜更高的分辨率和信噪比,并且能够对样品进行三维成像。激光共焦扫描显微镜在生物医学、材料科学、微电子制造和精密测量等领域有着广泛的应用。目前大多数共焦显微镜都采用点共焦扫描。2005年桂林电子科技大学光机电一体化研究所率先在国内提出了线结构光共焦扫描显微术的理论并得到了实验论证。尽管线结构光共焦扫描显微术横向分辨率仅能达到或接近传统点扫描共焦显微
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共焦显微镜由于采用了“共焦”技术而获得了比普通光学显微镜更高的分辨率和信噪比,并且能够对样品进行三维成像。激光共焦扫描显微镜在生物医学、材料科学、微电子制造和精密测量等领域有着广泛的应用。目前大多数共焦显微镜都采用点共焦扫描。2005年桂林电子科技大学光机电一体化研究所率先在国内提出了线结构光共焦扫描显微术的理论并得到了实验论证。尽管线结构光共焦扫描显微术横向分辨率仅能达到或接近传统点扫描共焦显微术的水平,但是该显微术与传统点共焦显微术相比也有两个优势:首先改点扫描为线扫描,平面成像时仅
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