喷射电沉积制备铜/钴多层膜工艺试验研究

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长期以来人们在怎样有效提高材料的性能方面进行了大量的研究,其中在基底材料表面沉积一层或者多层性质与基底材料完全不同的薄膜层是一种重要途径。纳米多层膜材料以其独特的机械、电光学和磁学等性能而受到越来越多的关注,其制备方法也不断改进和完善。一些先进的物理和化学方法也不断被成功应用到了纳米多层膜材料的制备上。综合来看,制备多层膜的方法主要有物理方法、化学方法和电化学方法这三大类。针对现有物理方法制备纳米多层膜普遍存在的工艺过程复杂、设备要求高和成本昂贵,化学法制备薄膜厚度不均匀、镀层多孔且结合力较差而电化
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