论文部分内容阅读
压电粘滑驱动技术因具有定位精度高、行程大、无电磁干扰等特点,在原位微纳米测试、精密光学仪器等技术领域得到了广泛应用。然而,驱动器在快速变形驱动阶段由定、动子间的滑动摩擦阻力导致的类锯齿状位移回退削弱了其输出性能,成为制约该技术发展的主要问题。据此,本文提出了一种基于超声减摩效应的压电粘滑平顺驱动方法,通过将微幅高频的正弦波耦合施加于锯齿波的快速变形驱动阶段,利用超声减摩效应降低了滑动摩擦阻力,抑制了位移回退运动,提升了输出性能。通过分析传统锯齿驱动方法激励下杆式压电粘滑驱动器定、动子间的摩擦力变化状