建立了计算机控制的快速傅立叶深能级瞬态谱测试系统,对该方法所存在的问题进行了研究,并提出了新的方法.相对于传统深能级瞬态谱(DLTS)方法,快速傅立叶变换深能级瞬态谱(FFT-DLTS)方法具有灵敏度高,分辨率高等特点,但是由于用FFT-DLTS方法在处理多能级DLTS系统时存在着系统误差从而限制了该方法的应用.该论文论证了该误差产生的原因并提出用迭代法来解多能级的傅立叶系数谱的方法,从而不仅有效的解决了传统FFT-DLTS方法所存在的问题,而且能级分辨率又有显著提高.用离子束溅射及快速热退火方法制得金属硅化物,但该工艺有可能在硅中引入新的缺陷,通过对金属硅化物所形成的肖特基势垒结构进行C-V、I-V、以及FFT-DLTS的测试与分析,可得出这些深能级缺陷是形成反向漏电流大的主要原因.