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硅基非晶薄膜以及镶嵌在非晶薄膜中的纳米硅材料近几年来已被广泛的研究,这些材料在许多方面,包括新型存储器件,新一代太阳能电池和硅基光源等都有着重要的应用前景。本论文针对非晶氮化硅(a-SiNx)薄膜和镶嵌在非晶氮化硅膜中的纳米硅材料进行了相关研究,主要包含两部分内容:第一部分研究了a-SiNx薄膜的发光特性。在我们前期工作的基础上,制备了不同氮硅(N/Si)比例的a-SiNx薄膜,通过研究薄膜的荧光寿命与N/Si比的关系,以及薄膜在不同时间尺度范围内的光致发光谱,进一步探讨了发光机制。进而基于具有不同