【摘 要】
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现代无线通信技术的高速发展对器件集成化、小型化、片式化的要求越来越高,磁电复合材料因其兼具电容、电感特性,能够在单一元件中实现多种功能而成为解决器件集成化、缩小器
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现代无线通信技术的高速发展对器件集成化、小型化、片式化的要求越来越高,磁电复合材料因其兼具电容、电感特性,能够在单一元件中实现多种功能而成为解决器件集成化、缩小器件体积的重要材料,可作为制作叠层片式滤波器的基板材料。本文以PZT/NiCuZn铁氧体复合材料为主要研究对象,基于LTCC工艺研制叠层滤波器,实现从材料研制、器件设计到制造工艺的综合调控,为开发高性能的复合材料、叠层片式滤波器奠定理论和实践基础。主要内容为:1.研究了P2O5掺杂、P2O5-Co2O3掺杂、Bi2O3掺杂对PZT/NiCuZn铁氧体复合材料微观结构和电磁性能的影响。揭示了P2O5掺杂促进晶粒生长从而提高磁导率的作用机理,发现P2O5-Co2O3掺杂能够同时改善复合材料磁特性和介电特性,发现一次球磨时加入Bi2O3将有利于促进低温烧结、改善复合材料综合电磁性能。2.采用研制的低温烧结PZT/NiCuZn铁氧体复合材料作为基板材料,建立电容、电感模型,利用ADS和HFSS软件对滤波器拓扑电路和三维物理结构进行仿真,设计出截止频率为100MHz和30MHz低通滤波器。3.在LTCC生产线上加工制作低通滤波器样品,测试结果表明:100MHz的低通滤波器,在截止频率100Hz时衰减量为3.07dB,频率为400MHz时的带外抑制衰减量为15dB;设计值为30MHz的低通滤波器,在截止频率30MHz时衰减量为3.1dB,频率为100MHz时的带外抑制衰减量20.25dB,实测结果与仿真基本吻合。通过微观形貌分析,发现复合材料与银将导体共烧良好,验证了PZT/NiCuZn铁氧体复合材料制作LTCC低通滤波器的可行性。
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