在本论文中,我们实现了飞秒激光诱导金属沉积在非平面衬底上实现柔性金属布线。激光光束可在聚焦位置通过双光子吸收精确地诱导金属离子光氧化还原反应产生金属纳米颗粒或团簇进而连成线。激光光束沿着程序预先设计好的轨迹在基底表面扫描,无论基底是平面的还是非平面的,期望的布线结果都能实现。由硝酸银、氨水、柠檬硅酸钠配制成的透明的银镀液作为激光诱导加工的金属材料体系。通过银镀液的光学吸收谱,我们能明显看到在302nm处有一个明显吸收峰,此处吸收峰来源于银离子本身。但在加工用激光波长790nm处却没有吸收,表明激光诱导银离子光氧化还原的过程是多光子学吸收的过程。在功率为1.2mW时获得最细线宽仅为125nm,充分表明加工的高分辨率。最后我们根据欧姆定律估算出激光诱导加工银线的电阻率为1.7×10-7Ωm,此值仅为体材料银电阻率的10倍多,可能是微纳银线表面轻微被氧化所致。飞秒激光诱导微纳加工的最大优势在于它在集成方面的体现得柔性特性,通过精细控制激光光束聚焦的光点的移动,能在任意基底上制作出多种多样具备纳米级空间分辨率的三维结构,之后在三维结构上实现紧连接布线,即便是在拐角处及曲面上都能保证好的连续性。我们还在微流路通道底部制作了微加热器,通过调节电压及设计器件的电阻可以调节其间的加热功率,并用PS-Na分子探针标定了通道内局域温度。