扫描电镜经过多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具，广泛应用于纳米技术、材料技术、生命科学技术等方面的研究。除采用各种由多极场组成的像差校正器对球差和色差进行高阶校正外，实现对扫描电镜控制系统的高精度、数字化控制也是获得高分辨率图像的关键因素之一，我国在该领域的研究远远滞后于世界先进水平。本文采用两种方案对扫描电子显微镜的控制系统进行研究：　　 (1)采用单片机实现对扫描电镜的自动控制。引入AT89C51单片机对扫描电镜的控制系统进行控制后，在自动调整模式下，扫描电镜控制系统的调整过程自动完成；在手动调整模式下，可实现扫描电镜控制系统各个参数在原值基础上的加1和减1的数字化调整；并且电路结构简单，经济成本低。　　 (2)采用LabVIEW8.60和数字电位器实现对扫描电镜的数字化控制。在采用.新型的数字电位器取代传统的电位器的条件下，主控系统LabVIEW8.60通过I2C总线控制数字电位器的输出电压，对扫描电镜控制系统各个控制参数进行控制，实现了扫描电镜控制系统各个参数在初值基础上的加1操作、减1操作和重新赋值操作的远程数字化控制，并且扫描电镜控制系统每次运行时各个参数的初始值为上次关机时的数值。