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薄膜生长机制是薄膜科学研究的重点内容之一。实验上可以利用扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)等来观察薄膜形成过程中表面形貌和结构的演变。理论上，计算机模拟是研究薄膜生长原子过程的重要方法。计算机模拟研究的意义在于：一方面可以研究某些实验中无法观察到的原子过程的细节，另一方面，计算机模拟可以很方便地改变薄膜生长过程中的各种参数，如沉积温度、沉积速率等。计算机模拟还可以用于研究实验上难以实现的高沉积率、高沉积温度等极端生长条件下薄膜的生长情况。在薄膜外延生长中，沉积原子的形核和生长初期阶段的