近年来，微/纳电子机械系统体积微型化带来的微纳尺寸上黏着失效和摩擦磨损等问题成为其使用性能和稳定性的重要原因，许多国内外学者针对微/纳电子机械系统表面的润滑问题进行了大量的研究。纳米TiO₂和纳米Al₂O₃等氧化物涂层具有优异的耐腐蚀和机械性能，作为薄膜可以提高材料表面的耐磨性。同时自组装单分子膜因具有良好的稳定性和更高的致密性和有序性能有效的降低材料表面的摩擦系数。因此，本文主要涉及这一领域，结合两种技术，以玻璃为基底，利用溶胶-凝胶法制备致密、均匀的TiO₂和Al₂O₃纳米薄膜，再次利用自组装技术对薄膜表面进行改性，系统研究了薄膜的表面形貌和结构，重点考察了薄膜的摩擦学性能并分析了作用机理，研究取得了一定进展，研究发现：（1）首先利用提拉法制备TiO₂薄膜和掺杂Ni离子的TiO₂薄膜，考察了薄膜的摩擦性能，发现TiO₂薄膜和掺杂Ni离子的TiO₂薄膜均能有效减小摩擦系数并对基底起到保护作用，其中掺杂Ni离子的TiO₂薄膜的摩擦学性能更好。但薄膜经紫外光照射处理后，不仅恶化了薄膜表面形貌，并且对薄膜的摩擦学性能带来十分不利的影响。（2）利用溶胶-凝胶法制备的TiO₂纳米薄膜均匀致密，呈现出超亲水特性，用脂肪酸对其改性后，不仅薄膜的疏水性能有明显提高，摩擦学性能也更为优异，其中硬脂酸比油酸具有更好的改性特性。（3）系统研究了有机烷基磷酸对TiO₂薄膜的改性实验，研究了薄膜的成键特性和摩擦学性能。自组装单分子膜在材料表面的吸附形式为化学吸附，具有更为优异的减摩耐磨特性。其中随着碳链的增加，有机烷基磷酸薄膜的摩擦学性能更加优异。（4）采用旋涂法在玻璃基底制备Al₂O₃纳米薄膜，并用硬脂酸进行修饰改性，同时控制不同的自主装时间，表征了不同薄膜的润湿性能和摩擦学特性，硬脂酸改性后的Al₂O₃薄膜摩擦学性能极为优秀，同时发现自组装时间对薄膜的摩擦学性能有一定的影响。（5）利用溶胶-凝胶技术制备Al₂O₃纳米薄膜，在其表面沉积一层十八烷基磷酸单分子层，结果表明十八烷基磷酸能有效降低薄膜表面的摩擦系数，并呈现出一定的疏水性，其中浸泡4h效果最佳。本论文结合了溶胶-凝胶技术和自组装技术，利用氧化物薄膜优良的物理化学特性和有机单分子膜的微纳润滑的协同作用，在玻璃表面制备出了双层有机复合薄膜，表现出优异的减摩耐磨特性，并且实验结果呈现出明显的一致性，对于解决微/纳电子机械系统黏着失效和摩擦磨损等问题的研究提供了一定的参考价值。