高精度光纤Fabry-Perot干涉仪在液体折射率传感测量中的应用

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作为测量系统中的传光媒介,光纤具备多方面的优点,这使得光纤传感器近二十年来在传感检测领域异军突起,成为传感器研究的热点,并已经在过程控制、生物化学、航空航海、结构监测、非接触监测等诸多领域获得了广泛的应用。本论文主要做了以下几个方面的工作:1.介绍了传统的传感器,尤其是与光纤传感器之间的区别,通过进行比较阐明了光纤传感器的可行性和优越性;光纤Fabry-Perot干涉传感器,作为光纤传感器的一种,因Fabry-Perot干涉仪本身具备的高灵敏度和高精度,可广泛应用于传感测量温度、应力、位移、加速度、折射率等物理量。2.回顾了液体折射率的光学测量方法,根据入射激光通过Fabry-Perot干涉仪后产生的干涉条纹变化能够反应Fabry-Perot腔内折射率的微小变化的特点,设计了用单模石英光纤为传光介质,Fabry-Perot干涉仪为传感器件,面阵分体CCD摄像机为图像接收器件组成的一套液体折射率的测量系统。3.采用了两种不同的Fabry-Perot腔体结构:平面腔镜结构和对称共焦球面腔镜结构;首先进行了理论分析,得出两种结构中折射率变化与干涉条纹变化的关系,然后分别对两种腔体结构下的测量系统进行实验研究,都可以探测到10-5量级的折射率变化量,结果基本令人满意。4.对两种不同腔体结构下实验方法做了对比,分别指出了它们各自的优缺点,并对实验结果进行了误差分析;最后,对本论文所研究的高精度光纤Fabry-Perot干涉仪液体折射率测量,以及在此基础上实现液体浓度的测量进行了展望。
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