微量质量传感器是利用压电晶体的压电效应制成的一类新型的质量-频率传感器，具有结构简单、灵敏度高、可靠性好、体积小、响应快、成本低、易于集成等优点。目前，微量质量传感器主要有石英晶体微天平（Quartz Crystal Microbalance，QCM）、声表面波（SurfaceAcoustic Wave，SAW）和压电微悬臂梁（Piezoelectric Cantilever Sensor）三种类型。首先，本文从理论上，对这三种类型质量传感器在气相、液相环境中的工作原理分别进行了分析、比较，对QCM传感器在气相工作环境下振荡电路的频带扩展问题着重进行了研究、探讨，对AT切石英晶体的各特性参数（介电常数、弹性常数和压电常数）进行了分析、计算。其次，本文在实验上，结合理论研究的结果和LiCl传统湿度传感器的已有成果，对设计的LiCl-QCM湿度传感器进行了实施和实验研究。实验结果表明，该款湿度传感器继承了LiCl与QCM的双重优点，突破了传统LiCl湿度传感器量程窄这一难题，具有灵敏度高、响应快、成本低、湿滞小、量程宽、互换性好、线性度佳等诸多优点。此外，为了提升LiCl湿度传感器的抗污染能力，改善无机盐吸湿易潮解这一弊端，本论文在LiCl-QCM湿度传感器的设计基础上，对高分子湿敏材料的感湿特性进行进一步探索，以寻求更为理想的湿敏材料，制造出性能更为优越的湿度传感器。本论文从QCM湿度传感系统的搭建、材料选取、湿度传感器的制备到数据的最终提取分析，实验结果与理论预测相一致，实现了预期的设计目标。