亚波长二维周期结构的矢量衍射分析与设计

来源 :中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoguang0623
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本文将由Moharam创建的一维矢量耦合波理论应用到了更加复杂的二维表面浮雕结构.从计算过程可以看出,耦合波理论是严格的矢量理论,自始至终满足能量守恒定律.通过计算得出了亚波长二维周期结构各种因素与反射率之间的关系,结果如下:对单台阶计算结果表明:当满足特定的条件时,如周期小于0.18λ、浮雕高度为0.205λ、入射角小于15°时,二维表面浮雕结构具有实现零反射的特性,这一零反射特性在很多方面都有极其重要的作用.而且,从计算结果可以发现,不管是对称还是非对称的二维表面浮雕结构,方位角和偏振态对反射率的影响很小,几乎可以忽略.同时利用等效介质理论通过所求得的反射率计算出了正入射下的表面浮雕结构的等效折射系数,并与文献[93]比较,结果两者所计算的结果是一致的.另外本文还对表面浮雕结构的高度加工误差对反射率的影响作了分析.同时也对一给定结构参数及中心波长的表面浮雕结构,分析了其带宽受限的特性.这都给实际制作提供了一定的参考价值.对多台阶逼近锥形二维亚波长周期结构计算结果表明来说:该结构具有在宽波段、大视角上能够实现抗反射,并且对光波的偏振态不敏感的特性.最后,把多台阶结构的反射特性同多层反射膜的增透特性进行了比较,结果表明该结构在很宽的波段上尤其是远红外波段上其抗反射的特性要远远好于多层膜.
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