【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS, Micro-electro-mechanical-system)技术是由集成电路技术延伸和发展而来,利用原先在集成电路工业上发展的技术和工艺,在硅(单晶硅衬底或多晶硅薄膜)和其他多种材料的基础上制造出微型的传感器、执行器等微结构。MEMS技术应用广泛,已经广泛地应用于成熟的消费电子领域、航空航天以及军工等领域。MEMS器件具有小型化、微电子集成、高精度制造和高可靠性等特
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微电子机械系统(MEMS, Micro-electro-mechanical-system)技术是由集成电路技术延伸和发展而来,利用原先在集成电路工业上发展的技术和工艺,在硅(单晶硅衬底或多晶硅薄膜)和其他多种材料的基础上制造出微型的传感器、执行器等微结构。MEMS技术应用广泛,已经广泛地应用于成熟的消费电子领域、航空航天以及军工等领域。MEMS器件具有小型化、微电子集成、高精度制造和高可靠性等特点,符合现代航空航天技术发展的方向,在微卫星等领域有着广泛的应用,通常这类微型航天器的防辐射保护层非常有
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