深亚微米光存储测试技术研究

来源 :中国科学院上海光学精密机械研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hao8035
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该论文介绍了作者在光存储测试技术研究方面的三个主要内容:CD-R盘基预刻槽深度和宽度均匀性测试和方法和系统,光学读取头物镜产生的激光光斑的光强分布测试的方法和系统,以及激光透过固体浸没透镜(SIL)聚焦的高密度光存储介质静态读写性能测试的方法及系统.CD-R盘基表面带有预刻槽,预刻槽的质量直接影响CD-R光盘的读写性能.有预刻槽的CD-R盘基相当于一个位相光栅,光束通过时将发生衍射.各衍射级光强的比例以及各衍射级间的夹角包含了预刻槽的深度、宽度和槽间距等重要信息.通过光束对整张盘的扫描,经过计算,可得到预刻槽深度和宽度在整张盘上分布的不均匀性.该方法具有以下特点:(1)可用于反射和透射测试;(2)很简单和容易地搭建相应的系统;(3)无损和实时检测.因此特别适合车间现场检验.为此建立的系统具有模块化(指功能区分)和集成化(指采用现有商品器件)的特点,系统性能稳定、可靠和维护简单.该系统还可用于二元光学元件的测试.
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