微机械压电超声换能器的力电性能研究

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本文研究的是基于应变梯度理论的微机械压电超声换能器压电薄膜的静态应变。压电超声换能器是目前应用很广泛的一种换能器,例如医学成像、远距离遥控测量、交通监测、机器人成像信息采集等等。传统的换能器受制于其尺寸,要批量生产成二维的换能器阵,一方面成本会很高,另一反面会使换能器阵极为笨重。相比之下,微机械压电超声换能器体积小、重量轻、惯性小、响应时间短,具有常规尺寸换能器无法比拟的优点。我们研究的微机械压电超声换能器由弹性层、压电层、上下电极层构成。换能器厚度达到了微米级别,在研究薄膜应变时要应用应变
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