【摘 要】
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微悬臂梁是MEMS（微机电系统）器件中较典型的结构，常用作传感器和执行器。它具有灵敏度高，体积小，成本低等优点，在质量检测领域受到了越来越多的关注。本文以微悬臂梁质量传感器为研究对象，根据微悬臂梁因粘附物体产生固有频率改变这一特性，提出了一种根据固有频率变化值对粘附物的位置和质量反求的方法。该方法具体来说是通过建立微悬臂梁质量传感器的有限元模型，编写相应的算法程序，进而完成对粘附物位置和质量的反求
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微悬臂梁是MEMS（微机电系统）器件中较典型的结构，常用作传感器和执行器。它具有灵敏度高，体积小，成本低等优点，在质量检测领域受到了越来越多的关注。本文以微悬臂梁质量传感器为研究对象，根据微悬臂梁因粘附物体产生固有频率改变这一特性，提出了一种根据固有频率变化值对粘附物的位置和质量反求的方法。该方法具体来说是通过建立微悬臂梁质量传感器的有限元模型，编写相应的算法程序，进而完成对粘附物位置和质量的反求，最终实现了对微悬臂梁上粘附物质的测量。本文主要完成了以下研究工作：（1）建立了微悬臂梁
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