基于仿生分级结构的柔性压阻传感器的制备与性能研究

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随着大数据、物联网、人工智能和工业机器人的发展,传感器作为数据采集和反馈系统受到了人们的广泛关注。其中,压力传感器基于对受压强度、压力持续时间、间隔及频率等的监测作用,在近年来迅速发展。柔性压力传感器因其轻量化、便携性和可穿戴等特点,在医疗保健、智能家居和数据监控系统等领域展现出良好的应用前景。然而,作为压力传感器的两个重要传感参数,对于一定的材料体系,在有限的形变空间内,灵敏度和传感范围往往互相制衡。对传感层进行微结构调控可以增加受压状态下额外的导电通路和接触变化,从而显著提高传感器的性能。与单一的微粗糙结构及多孔结构相比,构建分级结构的传感层具有更强的形变能力和更丰富的可形变空间,可实现对灵敏度和传感范围的同向优化。此外,生物系统在长期物种进化中形成了优异的传感性能和优化的结构。其中,动物纤毛结构在压力下的杠杆臂作用;指尖皮肤中微脊结构的应力集中与密布的传感神经使它们具有高度的敏锐性。本文基于微形貌工程,将分级结构和仿生原理相结合,进行较大压力范围内高灵敏的压力传感器设计和制备。研究内容主要分为以下两个部分:一、仿纤毛基Zn O SUSM/MXene分级微结构的压阻传感器的制备与性能研究。受生物纤毛杠杆臂传感机理的启发,构建3D棘刺球状结构可以模拟并充分发挥这种杠杆臂作用。低温水热条件下,氧化锌可形成具有高密度棘刺的3D海胆状微颗粒(Zn O SUSM)。但考虑到Zn O具有较高的电阻,因此进一步引入高导电的柔性Ti3C2Tx型MXene来提高传感层的导电性,促进Zn O SUSM间的电流传输。相对于常规物理共混作用,采用一步水热法合成的Zn O SUSM/MXene复合材料Sg M中,因Zn O SUSM的原位水热生长提升了材料分散的均匀性。在Sg M体系中,Zn O SUSM显示出棘刺球状的3D分级结构;柔性MXene的负载,不仅增加了导电性,且引入褶皱结构。Zn O SUSM结合MXene褶皱的丰富微结构,使得传感层在厚为150μm时,对应器件的灵敏度达89.5 k Pa-1、响应和回复时间为62.70 ms/62.63 ms。相应的器件可探索人体脉搏跳动、喉部吞咽、身体运动等信号。此外,作为概念性验证,其在电码编译和压力阈值警报等方面也展现出良好的应用前景。二、仿皮肤基#PPM/Zn O NR/MXene分级微结构的压阻传感器的制备与性能研究。考虑到上个体系中,传感材料滴铸形成的是较平整的膜层,在此,引入具有较大高度变化的传感层结构来进一步优化传感性能。人体指尖皮肤对外界刺激有良好的感知能力,其中,真皮-表皮处的微脊结构可以在压力下形成良好的接触和有效的应力集中。此外,真皮内密布的传感神经使其可对外界刺激进行灵敏且及时的感知。受此启发,采用模板法制备微脊结构的单面微粗糙聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底,并在基底上原位生长氧化锌纳米棒(Zn O NR)阵列来模拟密布的神经单元。接着,进一步共形负载Ti3C2Tx型MXene,来增强传导性能。最后,具有分级结构的传感层与叉指电极经组装形成器件。压力下,基于应力集中效应、杠杆臂效应和接触变化效应,实现了较大压力范围内的高灵敏传感。该器件在0.15~1.92 k Pa的低压区域和1.92~17.22 k Pa的较大压力范围内,灵敏度分别高达10606.9 k Pa-1和1882.3 k Pa-1,并展示出62.64 ms/62.65 ms的快速响应和回复。这种优异的传感性能,使其对脉搏跳动、说话时的喉部肌肉活动,身体的震颤及压力映射分布等有着良好的监测效果。
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