【摘 要】
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在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密控制。国内的薄膜特性检测技术大多为离线检
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在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密控制。国内的薄膜特性检测技术大多为离线检测技术,国外的检测设备一般也仅检测个别量。本文在研究国内外薄膜特性检测技术的基础上,提出了融合基片变形测量法与反射光干涉测量法以在线检测半导体薄膜多个特性的检测方案,设计了相应的检测装置,并论证了该检测装置在线检测多点薄膜应力、薄膜生长率以及厚度和折射率等量的可行性。具体工作包括:薄膜应力现场阵列传感器的分析和设计;对LD温度控制和驱动电路提出改进方案;CCD背景光强抑制方法的研究;实验平台的搭建;薄膜特性计算软件平台的设计。最后给出部分实验及其结论以及对课题需要进一步研究和完善的内容进行展望。
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