椭圆偏振测量术是一种测量和研究材料表面及其膜层光学特性的先进方法，具有测量精度高、快速和非接触等优点，在物理学、化学、材料及生物医学等领域有广泛的应用。随着薄膜技术的发展，薄膜类型由单层膜、双层膜、吸收膜向多层膜等更复杂的膜发展，也对薄膜测试技术的发展产生了促进作用。本文综述了国内外椭偏测量技术的发展，在华南师范大学HST—1型椭偏仪基础上研究设计了多波长消光式椭偏仪。研究分析了单波长消光式椭偏仪的测量原理、数据处理模型，对理想单层透明膜的迭代反演算法进行了研究，并找出了其中的问题，最后改进优化了原来单层透明膜迭代反演算法；同时利用Labview语言编制了相关的测量控制程序。利用自主研制的多波长消光式椭偏仪对单层透明膜、普通玻璃、石英玻璃进行了实际测量，同时对数据进行处理。实验表明：多波长消光式椭偏仪测试的准确性好、重复性好、精度高、测量速度快、稳定性好。 本论文的工作主要对椭偏测量理论的理解，在对前辈科研工作熟悉的基础上，主要开展了以下几方面研究内容： (1)讨论了1/4波片延迟量随波长的变化关系，分析了不同波长波片的延迟量对消光式椭偏仪椭偏参数Ψ和△的影响。 (2)设计并加工了多波长光源发射装置，初步成功搭建了多波长消光式椭偏测量系统。 (3)对有椭偏测量反演程序的改进优化，分析了原有反演程序对玻璃底衬底表面膜数据处理中存在的问题，提出了分段遍寻迭代搜索法，采用Labview语言编写了相关程序，使椭偏数据处理反演程序更加完善，功能更全。 (4)采用635nm和532nm的激光对载玻片，石英玻璃，及二氧化硅膜的定性测量表明，多波长消光式椭偏测量系统稳定可靠，具有较高的精确度。