【摘 要】
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该文提出了一种全新的设计思想,综合地利用了光学方法和机械接触法,提出了柔性测杆光纤测量系统,能够很好地解决小孔或狭槽的任意截面的尺寸形状误差的测量.该文对比了微小尺
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该文提出了一种全新的设计思想,综合地利用了光学方法和机械接触法,提出了柔性测杆光纤测量系统,能够很好地解决小孔或狭槽的任意截面的尺寸形状误差的测量.该文对比了微小尺寸相对于大尺寸测量的不同点,指出了测量微小尺寸时所要注意的问题.对于小孔测量,总结了目前小孔测量的各种方法及其优缺点.在这个基础上,详细介绍了光纤测头的组成和测量原理,分析了这种测头相对于传统测头的优越性.详细介绍了机械调整机构的种类和各种具体形式,设计出了能把光纤测球调整到光学系统正确物面的五自由度调整机构.在论文最后,对各种影响测头系统精度的因素进行了详细地分析,指出光学系统参数和算法好坏是影响整个系统精度的决定因素.而在各种误差之中,耦合误差的数值是最大的.实验标定了CCD像素的当量值,标定了测球的半径,对标准平晶进行了测量,给出了实验数据.该论文的主要创造性工作包括:(1)设计了一种新型的测头系统,利用光纤作为测头系统的触测元件,实现盲小孔和狭槽的测量,并且减小了测量力.(2)提出了以负透镜来使主面前移,增加了透镜系统工作距离的设计方案.
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