介观压阻型硅锗加速度计的仿真与设计

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【摘要】

：

本文研究了基于Si1-xGex /Si超晶格半导体薄膜结构的“介观压阻效应”的压阻式加速度传感器。在“介观压阻效应”理论的基础上,设计了Si1-xGex /Si/Si1-xGex双势垒共振隧穿纳米薄膜结构;运用MATLAB软件对不同尺寸的加速度计结构进行了仿真与设计;并采用ANSYS有限元分析软件对设计出的加速度计结构进行了仿真。本文设计了双悬臂梁结构的微加速度计,运用有限元软件ANSYS对该加速

【作者】

：

温银萍

【机构】

：

中北大学

【发表日期】

：

2009年04期

【关键词】

：

超晶格半导体薄膜共振隧穿异质结 I-V曲线介观压阻效应

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