本文以三种稀土氧化物(Pr6O11、La2O3、Sc2O3)作为刻蚀剂,金刚石单晶为刻蚀对象,在N2气氛中通过改变刻蚀温度和刻蚀时间探究稀土氧化物对金刚石单晶表面刻蚀的影响。主要结论如下:（1）Pr6O11、La2O3、Sc2O3均能成功的对金刚石单晶表面进行刻蚀,并且均表现为各向异性刻蚀。Pr6O11刻蚀后,{111}面刻蚀坑变化为:层状结构逐渐增加,在900℃、120 min时为多层状倒金字塔形,{100}面刻蚀坑变化为:四边形→八边形→多层状倒金字塔形→蜂窝状（900℃、120 min）;La2O3刻蚀后,{111}面刻蚀坑变化为:倒三棱台形→三棱柱形→内侧褶皱倒金字塔形（940℃、120 min）,{100}面刻蚀坑变化为:倒四棱锥形→侧边有孔洞的倒四棱锥形→无规则孔洞形→内侧粗糙倒四棱台形（940℃、120 min）;Sc2O3刻蚀后,{111}面刻蚀坑变化为:小倒金字塔形→倒三棱台形→六边形→大倒金字塔形（950℃、120 min）,{100}面:倒四棱锥形→四边形→星形（950℃、120 min）。（2）Pr6O11、La2O3、Sc2O3对金刚石单晶的最佳刻蚀温度分别为900℃、940℃、950℃。经过三种氧化物刻蚀2h后,金刚石单晶表面的粗糙度（Ra）和最大刻蚀深度显著提高。（3）三种氧化物处理后金刚石的单颗粒抗压强度CFS和抗冲击韧性TI下降幅度较空气刻蚀小得多。Pr6O11、La2O3、Sc2O3对金刚石的理论最佳刻蚀条件分别为900℃、97 min,940℃、92 min,950℃、90 min。（4）Pr6O11对金刚石单晶的刻蚀机理为催化石墨化和氧化,La2O3和Sc2O3对金刚石单晶的刻蚀机理均为催化石墨化。（5）三种稀土氧化物刻蚀后金刚石节块(金刚石的刻条件均为理论上的最佳条件,结合剂为Cu0.85Sn0.15)相对于未刻蚀金刚石节块的抗折强度均有所提高,金刚石浓度越高越明显。