本文通过使用X射线粉末衍、扫描电子显微镜和能谱分析技术，对Ho-Ti-Si三元体系在973K，Gd-Ti-Si三元体系在1073K以及Er-Ti-Si三元体系在1273K温度下的等温截面。　　在Ho-Ti-Si三元体系973K的温度中存在9个二元化合物，分别为:Ti5Si3,Ti5Si4,TiSi,TiSi2,Ho5Si3,Ho5Si4,HoSi,αHoSi2-b和βHoSi2-a。该体系由14个三相区，27个两相区以及14个单相区组成。之前被报道的两个三元化合物HoTiSi和Ho2Ti3Si4被证实存在于此温度下。在973K的温度下，Ti在HoSi2-b，Ho5Si4和Ho5Si3中存在一定的固溶，其最大固溶度分别为8.0％，7.2％，6.0％。Ti5Si3在973K的固溶范围为Ti61Si39到Ti63.4Si36.6。　　在1073K的温度下Gd-Ti-Si三元体系中存在9个二元化合物，分别为:Ti5Si3,Ti5Si4,TiSi,TiSi2,GdSi2-x,Gd3Si5,GdSi,Gd5Si4和Gd5Si3。证实了两个三元化合物GdTiSi和Gd1.9Ti3Si4的存在。在1073K的温度下，该体系由14个三相区，27个两相区以及14个单相区构成。Ti在Gd5Si4和Gd5Si3中存在固溶，其最大固溶度分别为3.0at.％，2.5at.％。其中GdSi2-x和Ti5Si3存在一定的固溶。　　Er-Ti-Si三元体系在1273K的温度下该等温截面由12个三相区，24个两相区以及13个三相区组成。其中存在8个二元化合物和两个分别为:Ti5Si3，Ti5Si4，TiSi，TiSi2，Er3Si5，ErSi，Er5Si4以及Er5Si3。两个三元化合物ErTiSi和Er2Ti3Si4存在于该体系中。其中Ti在Er5Si4和Er5Si3中存在固溶，其最大固溶度分别为9.8at.％，6.8at.％。Ti5Si3和Er3Si5在1273K存在较大的固溶范围。