【摘 要】
：
本论文提出了一种基于SOI工艺的新型三框架电容式三轴加速度计的设计方案,其中检测单元水平面（X、Y轴向）采用对称等高式梳齿设计，竖直面（Z轴向）采用不对称梳齿设计，可以实现单片集成化的设计要求。并对此设计方案进行了微结构设计、模拟仿真分析等方面的工作。利用有限元分析软件ANSYS对设计的结构进行静态力分析、模态分析和谐响应分析。通过静态分析得到本文所设计的三轴微加速度计微结构的整体尺寸为几个立方毫
论文部分内容阅读
本论文提出了一种基于SOI工艺的新型三框架电容式三轴加速度计的设计方案,其中检测单元水平面（X、Y轴向）采用对称等高式梳齿设计，竖直面（Z轴向）采用不对称梳齿设计，可以实现单片集成化的设计要求。并对此设计方案进行了微结构设计、模拟仿真分析等方面的工作。利用有限元分析软件ANSYS对设计的结构进行静态力分析、模态分析和谐响应分析。通过静态分析得到本文所设计的三轴微加速度计微结构的整体尺寸为几个立方毫米，远小于传统的机械惯性器件，适用于消费电子领域。检测三轴向的机械灵敏度达到单轴水平。抗过载分析
其他文献
可见光探测器主要可用于目标姿态的实时观测，空中轨迹的测量，目标的识别、跟踪以及瞄准等领域。将其车载使用可增强设备的机动性，由于载车限重的约束，在对可见光探测器结构进行设计的过程中对其重量指标也有一定的要求。同时，随着探测技术的不断发展，对探测器成像质量的要求也越来越高，而可见光探测器在工作状态下结构的刚度性能则直接影响其成像质量。因此，研究如何在保证可见光探测器结构刚度性能的前提下进行轻量化设计，
智能微波开关系统是一种以微波为传输介质，利用微波波束障碍原理检测物料位置的物位检测系统。智能微波开关系统主要由以下几个部分组成：智能微波开关（包括发送器和接收器两部分）、上位机及软件、智能微波开关检测仪和其他相关附件。本文所研究的智能微波开关接收器检测仪是一种便携式仪表，属于智能微波开关系统，是智能微波开关的后续产品，是为检测接收器而设计的。它有两个方面的作用：第一，在智能微波开关接收器生产过程中
电喷雾萃取电离（Extractive Electrospray Ionization，EESI）技术是一种新兴离子化技术，由于可以在无需样品复杂预处理的条件下对复杂基体样品进行直接质谱（Mass Spectrometry，MS）分析，近年来得到了广泛的研究。EESI离子源由电喷雾通道和样品通道构成。实验时，需要参考样品的不同形态和待测物的不同性质等，对EESI离子源的设置参数进行调节与优化，以达到
随着现代社会老龄化速度的加快，因脑卒中等疾病造成的肢体运动功能障碍的患者也在逐年增多。现代神经康复医学及其临床研究结果表明，通过科学的康复训练可以在一定程度上恢复其受损的肢体运动功能。在康复训练过程中，医师应对患者的健康状态和训练效果进行实时监测和评价，从而及时调整康复治疗方案。为克服传统康复监测与评价方法中实时性的不足，论文基于无线体域网构建了一套用于运动功能康复训练的监测系统。论文主要研究内容
超声波流量测量技术是目前流量测量领域的一个重要分支，它的应用十分广泛，不仅涉及能源、化工、冶金等大型工业领域，还在环保、水处理等公共设施，甚至在民用仪表当中也能看到它的身影。人类利用超声波技术进行流量的测量最早可以追溯到三十多年以前，但受到当时基础研究水平和电子电路技术的限制，无法走向产业化的道路。随着科学技术的不断进步，测量原理的进一步完善，以及高性能集成电路的产生，利用超声波对流体流量的精确测
电阻抗成像技术是近几十年来出现的一个新的热点课题，有着非常广阔的应用前景，是一种基于生物医学的成像技术。由于不同的生物组织有着不同的电阻抗，当生物体发生疾病或者进行生理活动时都会引起电阻抗的变化。通过给人体注入较小的安全电流，采集体表的电压信号用来重构人体内部的电阻抗分布或者相关变化的图像。论文主要工作内容如下：（1）研究设计了电阻抗成像系统的信号源，由DDS频率合成模块产生一个正弦波形电压信号，
助行器作为现代机器人技术与人体康复需求相结合的产物,是用于下肢残障者的康复、步行代偿以及护理。随着经济的发展和社会的进步,残障人士对生活质量的要求也在提高所以市场对于助行器的需求量很大,而目前我国对于助行器的研究相对滞后,因此课题的研究具有重要的实际应用意义。仿生动力式助行器是一种智能化的助行装置,由驱动器驱动助行器各关节运动,从而带动人体下肢运动,以模拟正常人体步态,从而达到帮助下肢残障人士重新
本文设计的智能阀门定位器主要由c8051单片机应用系统、导电塑料电位器和电磁力矩式电气转换单元（IP转换单元）构成。智能阀门定位器采用c8051为CPU，利用负反馈控制系统，即把控制阀位信号和阀杆的实际到达位置反馈信号经模数转换后送入CPU，CPU对这两个信号进行偏差计算，根据计算偏差控制输出驱动电流，并按比例转换为相应的气压输出，从而使执行机构动作，实现定位。该产品采用模块化的设计方法，具有HA
本文设计一种基于体硅工艺的大量程差分电容式微加速度计。通过理论分析结合有限元分析软件ANSYS对加速度计微结构进行了模拟，分析静态与动态性能，实现了微结构具体设计与优化。本文设计的加速度计结构利用差分电容原理，采用了“三明治”即玻璃-硅-玻璃的结构。此种设计可以实现较大的质量块、灵敏度高的特点。本设计采用直板8臂式弹性梁结构，通过改变弹性梁结构的厚度可以进一步调节传感器的灵敏度及量程。通过有限元方
微陀螺在当今社会发挥的作用越来越重要，其自身发展速度突飞猛进，但都存在一定的问题其中，磁悬浮转子微陀螺由于利用涡流效应会产生发热问题，其转子侧向刚度低也限制了其转速的提高；而静电悬浮式陀螺虽然精度很高，但存在加工成本高，静电支撑所需电压过高等缺点针对上述缺点及不足，本文主要从转子结构上进行突破，从而实现结构相对简单，成本低，转速高，精度高的新型陀螺仪本文通过液浮陀螺的基本相关原理提出全新的球碟式转