【摘 要】
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本论文提出了一种基于SOI工艺的新型三框架电容式三轴加速度计的设计方案,其中检测单元水平面(X、Y轴向)采用对称等高式梳齿设计,竖直面(Z轴向)采用不对称梳齿设计,可以实现单片集成化的设计要求。并对此设计方案进行了微结构设计、模拟仿真分析等方面的工作。利用有限元分析软件ANSYS对设计的结构进行静态力分析、模态分析和谐响应分析。通过静态分析得到本文所设计的三轴微加速度计微结构的整体尺寸为几个立方毫
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本论文提出了一种基于SOI工艺的新型三框架电容式三轴加速度计的设计方案,其中检测单元水平面(X、Y轴向)采用对称等高式梳齿设计,竖直面(Z轴向)采用不对称梳齿设计,可以实现单片集成化的设计要求。并对此设计方案进行了微结构设计、模拟仿真分析等方面的工作。利用有限元分析软件ANSYS对设计的结构进行静态力分析、模态分析和谐响应分析。通过静态分析得到本文所设计的三轴微加速度计微结构的整体尺寸为几个立方毫米,远小于传统的机械惯性器件,适用于消费电子领域。检测三轴向的机械灵敏度达到单轴水平。抗过载分析
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智能微波开关系统是一种以微波为传输介质,利用微波波束障碍原理检测物料位置的物位检测系统。智能微波开关系统主要由以下几个部分组成:智能微波开关(包括发送器和接收器两部分)、上位机及软件、智能微波开关检测仪和其他相关附件。本文所研究的智能微波开关接收器检测仪是一种便携式仪表,属于智能微波开关系统,是智能微波开关的后续产品,是为检测接收器而设计的。它有两个方面的作用:第一,在智能微波开关接收器生产过程中
电喷雾萃取电离(Extractive Electrospray Ionization,EESI)技术是一种新兴离子化技术,由于可以在无需样品复杂预处理的条件下对复杂基体样品进行直接质谱(Mass Spectrometry,MS)分析,近年来得到了广泛的研究。EESI离子源由电喷雾通道和样品通道构成。实验时,需要参考样品的不同形态和待测物的不同性质等,对EESI离子源的设置参数进行调节与优化,以达到
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超声波流量测量技术是目前流量测量领域的一个重要分支,它的应用十分广泛,不仅涉及能源、化工、冶金等大型工业领域,还在环保、水处理等公共设施,甚至在民用仪表当中也能看到它的身影。人类利用超声波技术进行流量的测量最早可以追溯到三十多年以前,但受到当时基础研究水平和电子电路技术的限制,无法走向产业化的道路。随着科学技术的不断进步,测量原理的进一步完善,以及高性能集成电路的产生,利用超声波对流体流量的精确测
电阻抗成像技术是近几十年来出现的一个新的热点课题,有着非常广阔的应用前景,是一种基于生物医学的成像技术。由于不同的生物组织有着不同的电阻抗,当生物体发生疾病或者进行生理活动时都会引起电阻抗的变化。通过给人体注入较小的安全电流,采集体表的电压信号用来重构人体内部的电阻抗分布或者相关变化的图像。论文主要工作内容如下:(1)研究设计了电阻抗成像系统的信号源,由DDS频率合成模块产生一个正弦波形电压信号,
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