SiO₂/PET复合包装膜是一种新型软包装材料，具有极佳的阻隔性和良好的透明度、耐蒸煮性、可微波性、环境保护性等特点，可广泛应用于食品、医药、日化等领域。本文采用磁控溅射工艺，在聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）基材上沉积SiO₂无机膜，制备SiO₂/PET复合包装膜，利用扫描电镜、能谱仪和拉脱法附着强度测试仪对复合包装膜进行了测试与表征，系统研究了基材清洗工艺、溅射工艺参数、中间过渡层等对膜基结合强度的影响。首先分析了不同的PET基材清洗工艺方法和等离子清洗工艺参数对SiO₂/PET复合包装膜的膜基结合强度的影响。结果表明：（1）基材经过等离子清洗的膜基结合强度较深度清洗、一般清洗和不清洗分别高7.83%、27.27%、55.56%。（2）在等离子清洗工艺参数中，随着清洗时间的增加、射频功率的提高和氩气流量的增大，结合强度表现为先增大后减小的变化规律。其中清洗时间为300s、清洗功率为200W、氩气流量为25sccm时，膜基结合强度分别达到最大值。其次研究了射频功率、溅射时间、氩气流量和本底真空度4个溅射工艺参数对SiO₂/PET复合包装膜的膜基结合强度的影响。结果表明：（1）随着溅射时间的增加、射频功率的提高和氩气流量的增大，膜基结合强度呈现出先增大后减小的变化趋势；（2）本底真空度越高，膜基结合强度越大；（3）4个工艺参数中，溅射时间对膜基结合强度的影响最大，射频功率次之，本底真空度和氩气流量的影响最小；（4）4个工艺参数的较优水平组合为射频功率取200W、溅射时间取90min、氩气流量取20mL/min、本底真空度取1.5×10-4Pa。最后探讨了中间过渡层对SiO₂/PET复合包装膜的膜基结合强度的影响。结果表明：（1）在SiO₂膜与PET基材之间沉积A12O3过渡层，能明显提高膜基结合强度。（2）过渡层的厚度存在最佳值，厚度偏大或偏小，都不能获得最大的膜基结合强度。