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人类的基因测序对于实现疾病的个性化检测有着极其重要的意义,其本质就是对生物分子的检测,目前利用场效应管和固态纳米孔进行集成制备,利用双向四电极检测是是未来DNA测序技术中最有可能实现单碱基识别的技术之一;而实现四电极集成最关键的技术就是关于场效应管的制备;而且目前制备场效应管的材料有很多,其中二维材料二硫化钼是最近研究比较多的新型材料,不仅由于单层的二硫化钼拥有较大的直接能带隙,同时制备成的场效应管拥有着室温下较高的电流开关比和超高的灵敏度,满足生物分子检测的要求。本文主要是介绍基于二硫化钼薄膜的场效应管的制备方法研究,制备二硫化钼场效应管主要包括以下几个主要步骤:氮化硅基底的制备;MoS2薄膜的铺陈:金属电极的制备。在整个制备过程中,关于二硫化钼的转移是非常有难度并且也是制备的关键技术;然而之后发现以这种方法制备的场效应管存在肖特基势垒,金属电极与二硫化钼薄膜之间存在很大的接触电阻,很大程度上影响了场效应管的性能;而且制备的场效应管是要面向生物分子检测,需要研究适用液相的场效应管,因此需要对这种制备方法以及工艺进行进一步的改进。然后在之前制备场效应管的基础上,提出了一种新型的改进方法制备出适用液相的场效应管,对于适用液相的二硫化钼场效应管的制备主要包括以下几个主要步骤:氮化硅基底的制备;金属电极的制备;MoS2薄膜的铺陈,利用FIB进行镀铂使得二硫化钼与金属源极和漏极连接。这个制备流程主要是改变了之前金属电极的制备与二硫化钼薄膜的铺陈之间的顺序,先进行金属电极的制备,后转移二硫化钼薄膜,然后栅极电压的施加是通过在盐溶液当中施加的,这样的改变能够极大地简化了金属电极的制备流程,并且改善了二硫化钼场效应管的性能,未来这种制备方法有望广泛地利用到生物传感器件的制备领域。利用四探针测试仪对适用液相的场效应管进行性能测试实验,实验表明在浸润环境下由于掺杂杂质浓度的变化使得场效应管上二硫化钼的电阻要比在空气中要小;当通过施加液栅电压之后,发现随着液栅电压的增加,漏极电流与电压之间的I-V曲线的斜率也会随之增加,场效应得以很好的发挥。证实利用二硫化钼制备的场效应管性能的优越,未来利用这优越的性能可以为以后和固态纳米孔集成制备进行生物分子检测,利用场效应管的高灵敏度来实现单碱基的识别打下坚实的基础。同时利用二硫化钼薄膜材料制备纳米孔进行生物分子的检测进行了实验研究,实验结果表明:(1)利用二硫化钼大孔对λ-DNA分子进行过孔检测,发现λ-DNA分子会以三种不同的姿态过孔,每一种姿态都对应着不同的离子电流信号;(2)在液池两边施加从正电压到负电压变化时,DNA分子过孔时阻塞信号从下降峰变成了上升峰;(3)利用二硫化钼小孔对20 poly(dA)进行过孔检测时,发现信噪比得以提高,并且得到良好的过孔信号,过孔时间也得以延长,便于进一步分析过孔信号,加大进行单碱基识别的可能性。