电子信息领域中电子测量是非常重要的一部分,电子信息业的快速发展肯定也离不开电子测量的支持。阻抗测量是电子测量中很重要的一部分,可靠的阻抗测量方法对提高阻抗测量的精度和准确度非常重要。本文主要针对变温高频条件下阻抗测量问题进行研究讨论,设计了一个适用于测量薄片状固体样品阻抗的夹具,并做了可行性分析。为解决变温高频条件下直径小于7mm的固体薄片结构的样品的阻抗测量问题,以同轴结构传输线的温度特性和频率特性为基础,本文设计并加工了基于APC-7同轴传输线全金属结构的夹具,并用分布参数的分析方法分析问题。搭建的测量系统中使用了矢量网络分析仪、PID控制器及隔热炉腔,在PC端分别通过LAN口以及串口连接,通过编程,在PC端完成频率范围为300KHz-3GHz,温度范围在RT-300℃的自动测量过程。验证了变温高频条件下直径小于7mm的固体薄片状的样品阻抗测量系统的可靠性。本论文主要开展了如下具有创新性的研究工作:(1)本文主要研究了测量尺寸足够小的被测样品阻抗值的测量方法。测量频率范围为300KHz-3GHz,当温度范围在RT-300℃时,从高温破坏仪器端口的问题出发,根据传输线基本理论知识,设计并加工制作了APC-7同轴传输线结构的阻抗测量夹具。自制的夹具可以测量直径小于7mm的薄片状固体样品的阻抗值,为此类样品的阻抗分析提供一个有效的测量方法。通过理论计算,本文分析了变温高频可能带来的热胀冷缩和趋肤效应对测量结果的影响的误差在1%以内。并由搭建的阻抗测量系统测量,通过数据分析证实了该自制夹具的可行性,可用于样品的阻抗测量。(2)实际测量过程中,为提高测量环境温度的稳定性,实现了模糊PID控制器控制温度,使被测样品整体达到温控箱的实时温度。同时,LAN口连接矢量网络分析仪编程实现PC端自动完成频率范围为300KHz-3GHz的测量。整个测试系统在MATLAB环境下,实现了全自动测量。论文相关研究结果为探索在既变温又高频的情况下测量直径小于7mm薄片状固体样品阻抗值,提供了有效的测量方法。