掺铒波导放大器是继半导体光放大器、掺铒光纤放大器以来又一具有发展前途的光放大器。它具有短距离高增益、波导阵列、小型化成本低等优点。本文分析了掺铒波导放大器的增益原理及能级模型,提出在波导截面上信号光和泵浦光的光模场分布之间的归一化重叠因子Γ,并将之引入到掺铒波导放大器的传输-速率方程中。通过数值求解扩散方程得到了波导的二维折射率分布。随后采用半矢量有限差分法求解波动方程得到信号光与泵浦光在波导截面上的光模场分布。在此基础上,计算出两者间的归一化重叠积分因子Γ,分析了其变化对EDWA增益性能的影响。通过对不同工艺参数设置的理论模拟结果比较及与实验结果的比较可知,优化信号光与泵浦光在波导截面上的重叠因子Γ,可以提升放大器的增益。这一理论模拟有助于在实际设计制作波导时,理解各个工艺参数对放大器性能的影响。从而根据情况适当地调整参数,最大限度地优化放大器的增益性能。