【摘 要】
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该课题主要是开发出与配合原子力显微镜工作的高精度、智能化的检测系统.该系统机械部分是带有码盘的交流伺服电动机和一个独立于AFM的精密空气主轴.测控系统由配有数据采集
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该课题主要是开发出与配合原子力显微镜工作的高精度、智能化的检测系统.该系统机械部分是带有码盘的交流伺服电动机和一个独立于AFM的精密空气主轴.测控系统由配有数据采集卡的计算机和外围电路组成.它担负着对交流伺服电机的控制,同时适时地采集靶球表面状态信号和靶球位置信号.在电机控制方面,该文分别尝试了速度控制和位置控制两种控制模式.在位置控制模式中,该文采用了PI控制,在速度控制模式中,则采用了I-PD调节器.通过实验对比,最终采用了位置控制模式的I-PD调节器作为电机的控制方式,从而实现了测量装置的控制系统.信号采集分两部分,靶球表面状态信号的采集和靶球位置信号的采集,最后通过软件把两个信号联立起来,形成了靶球二维图像,完成了检测装置的测量系统.该文还搭造了简易的电路,辅助实现电机的控制和信号的采集.
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