双路空间载波数字散斑干涉技术的研究

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数字散斑干涉技术是一种全场、非接触以及高精度的光学测量方法,在航空航天、精密机械制造、生物医学等领域有着非常广泛的应用。目前数字散斑干涉技术主要采用时间相移技术进行相位的求解,这种方法具有较高的测量精度,但其自身的局限性使其仅适用于被测物处于准静态时的测量,难以满足工业测试中对动态测量的需求;并且这种方法只能分时测量物体的三维变形,不能同时测量。空间载波法是另一种有效的相位求解方法,能够使数字散斑干涉技术实现动态测量,因此具有很好的应用潜力。本课题组已对一维空间载波数字散斑干涉技术进行了研究,实现了动态离面变形的测量,并分析了光路中关键参数的改变对实验质量及测量结果的影响。在此基础上,本论文提出了双激光器照明的双路空间载波数字散斑干涉方法,能够实现动态离面变形和面内变形的同步测量,研究了其测量原理与实现方法,并构建了实验系统进行了验证和分析。  主要工作及创新点包括:  1、提出了采用双激光器的双路空间载波数字散斑干涉方法,实现物体的动态离面变形和面内变形的同步测量,从一幅散斑干涉图中同时获得离面变形和面内变形。  2、分析了离面、面内变形与相位的关系的数学模型,对空间载波傅里叶变换以及相位、二维变形求解的算法进行了研究,对双路空间载波数字散斑干涉光路中的关键参数进行了分析,并结合实验进行了验证。  3、基于所研究的算法,编写了空间载波数字散斑干涉软件,实现了采集、处理、计算和显示等一系列功能。
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