AlGaN日盲紫外探测器材料生长及表征

被引量 : 0次 | 上传用户:lcm0153
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
AlxGa1-xN半导体材料有着广泛的用途,其中之一是在紫外探测器制作中的应用。AlxGa1-xN的带隙从3.4eV到6.2eV,对应的波长范围从365nm到200nm,覆盖了光谱中主要的紫外区。要达到日盲型紫外探测(截止波长小于280nm),必须使用Al组分高于40%的AlGaN材料作为有源层,作为窗口层的AlGaN材料更需要达到60%左右。由于高Al组分的AlGaN材料生长过程中存在着强气相预反应,因此随着Al组分增加,AlGaN材料的外延生长难度增大,材料晶体质量下降。另外,Al-N键和Ga-N键的键能差别很大,造成晶体生长时Al原子和Ga原子具有不同的表面迁移率,加剧了外延生长难度。本论文采用低温和高温AlN复合缓冲层的方法利用LP-MOCVD在蓝宝石衬底上外延生长AlGaN/AlN结构,进行了表面形貌和晶体质量、以及应变分析、后期器件制作的初步研究等。
其他文献
东营港作为黄河三角洲的中心港口地位逐步显现,到港船舶大型化、专业化、多样化使得现有锚地和航道与港口的发展不相适应。为增强港口水域船舶的通航安全性,作者根据港口总体
近年来,随着计算机图形学、计算机视觉和虚拟现实等相关领域的飞速发展,三维织物动态仿真技术因其广泛的应用前景逐渐成为一个研究的热点。本论文正是针对三维织物动态仿真研
《清末监狱改良》一文借助历史学、法学、社会学等多学科研究方法,立基于原始资料,对在中国法制近代化转型中极具重要地位而又鲜有人措意的“清末监狱改良”这一课题进行了全
在住房体制改革深入与城市化进程加速的经济转轨背景之下,中国住房抵押贷款业务实现了跨越式发展。但随着时间的推移,早期住房抵押贷款市场跨越式发展的不良后果开始显现,违约率
厢式压滤机是20世纪中期发展起来的,其特点是过滤压力高,单机过滤面积大,滤饼含液量低,抗腐蚀性好,运转费用低。它适用于粘性大、颗粒小、渣量多等过滤难度较大的物料,但直到
随着国际、国内市场的不断发展,对产品质量的要求越来越高。因此追求高质量的产品、低成本的消耗成为企业能否在激烈的市场竞争中立于不败之地的最首要的保证。氮气雾化法生
针对Buck变换器的非线性特性,提出了采用反步法和反步滑模法控制非线性系统的控制策略。基于对Buck变换器数学模型的分析,论述了反步法控制器的设计,实现了当Buck变换器参数发生
乘务人员的合理运用是客运专线列车安全运行、动车高效运用、以及为旅客提供优质服务的关键。目前,我国对客运专线列车运行组织中的许多问题都进行了研究,然而对乘务人员这一
人工湿地在实际运行过程中存在一个难以解决的问题就是湿地堵塞问题,本文在全面分析了人工湿地堵塞的成因及特点后,结合多孔透水混凝土的特性及其国内外应用现状,提出一种全新的
创新战略作为企业的核心竞争力,对于企业在“全球经济一体化,中外企业文化多元化,区域性经济与跨国集团风起云涌”的环境下应对超级竞争的挑战,对于企业持续创新经营战略,获取优于