高温超导滤波器相较于常规导体所制作的滤波器,可以实现更高的阶数,更低的插损和更好的带外抑制能力。高温超导材料中,YBa2Cu3O7-δ（YBCO）目前应用较为成熟。高质量大面积低成本的批量化制备乃是推进YBCO在微波领域应用的重要前提。实验室自研Metalorganic chemical vapor deposition（MOCVD）设备提高了制备效率,降低了实验成本,并保证了薄膜质量。本文针对影响YBCO薄膜的生长机制、性能的因素进行了研究。首先对自研的新设备进行了参数摸索。在氧分压为800-950sccm,沉积温度为840℃时,La Al O3（LAO）衬底YBCO薄膜能实现较好的结晶成相。在此条件下,得到一个成分区间:Y含量为21%-24%,Ba含量为28%-31%,Cu含量为46%-53%。在此区间内YBCO薄膜的临界电流密度大于2.0 MA/cm~2,微波表面电阻小于0.5mΩ,满足YBCO薄膜实用化的需求。MOCVD法制备MgO需要克服混合生长模式的问题。MgO衬底上YBCO有两种生长模式:一种是晶格匹配的0°生长,另一种是面内旋转一定角度的45°匹配生长。因此分别探究了温度和成分对YBCO与MgO面内匹配的影响。当温度为805℃时,薄膜沿0°对称生长;当温度为810和825℃时,薄膜实现纯45°生长,可以通过温度来控制实现YBCO的单一生长模式。针对820℃混合生长的情况,通过调节Y含量的成分,亦实现了YBCO生长匹配的调控。当Y含量为15%时,薄膜沿0°生长;当Y含量达到32%时,薄膜沿45°生长。当Y含量介于两者之间时,YBCO以45°生长为主,此时薄膜中存在Y-Cu-O和Y2O3杂相,其中Y-Cu-O相的强度越弱,0°取向的强度也越弱。本文尝试采用MOCVD法所制备的LAO基YBCO薄膜制作应用于GSM900频段的高温超导滤波器。从频率响应图可以看出此时滤波器已经具有滤波特性曲线,但是需要后期调谐来克服LAO介电常数的不均匀。证明采用MOCVD法所制备的YBCO薄膜来实现微波电路是可行的,有利于助推未来高温超导薄膜在微波领域的实用化进程。