【摘 要】
：
本文对用于惯性约束聚变中的莫尔光栅、自支撑金透射光栅和多层介质膜脉宽压缩光栅的制作工艺进行了较为系统的研究,而用于惯性约束聚变中的其它类型光栅如取样光栅、色分离
论文部分内容阅读
本文对用于惯性约束聚变中的莫尔光栅、自支撑金透射光栅和多层介质膜脉宽压缩光栅的制作工艺进行了较为系统的研究,而用于惯性约束聚变中的其它类型光栅如取样光栅、色分离光栅、成像波带片等由于时间关系没有涉及.针对实验中出现的种种问题,查阅了大量的文献资料,对全息离子束刻蚀衍射光栅中的涂胶、全息曝光、显影、离子束刻蚀进行了进一步的大量实验研究,解决了部分工艺问题.本文的主要结论是:1全息光栅掩模制作中的涂胶、全息曝光、显影工艺得到进一步固化.2综合文献提供的光刻胶处理工艺,已做出了侧壁陡直的光栅支撑结构图形(线宽8μm、槽宽2μm、槽深~10μm).这将有利于自支撑透射光栅的支撑结构、莫尔光栅的制作.3完成了1000线/mm的自支撑透射光栅的研制;2000~3000线/mm的自支撑透射光栅,因其尺寸大(长12mm)及微电镀工艺存在问题目前还在继续研制.4 863课题"脉宽压缩光栅研制"工作方面,侧重于多层介质膜脉宽压缩光栅的离子束刻蚀研究,在大量离子束刻蚀实验的基础上,确定了优化的离子束刻蚀工艺参数,刻蚀出高衍射效率的多层介质膜光栅.
其他文献
从1986年发现第一种铜氧化物高温超志体开始掀起的研究热潮,至今已持续了近二十年了.这不仅由于高温超导体实现了18年前不可想象的超导转变温度,使超导技术开始从实验室走向
ZnO 是一种宽带隙半导体（3.37 eV），激子束缚能高达60 meV，这使得 ZnO具有高效的，源于激子的紫外发射，并使得ZnO在短波长激光二极管、紫外探测器等方面有着广泛的应用前景。到目前为止，人们已经采用激光脉冲沉积，磁控溅射，金属有机气相沉积等技术来制备ZnO。从提高ZnO发光质量和调整ZnO性质的角度出发，本篇论文采用等离子体辅助电子束蒸发技术，制备金属锌和ZnS：Mn薄膜，然后进行热
该文研究了PAn类和PPV类两类聚合物的三阶非线性光学特性.以N-甲基吡咯烷酮(NMP)为溶剂,制得PAn/NMP溶液和甲基取代PAn/NMP溶液;以氯仿为溶剂,制得2-甲氧基5-丁氧基取代PPV/
该文对立体视觉中的几个关键环节进行了研究,通过利用人工神经网络,分别解决了立体标定、立体校正、立体匹配以及三维重建等问题.在此基础上,初步建立了一个具有并行结构的基
利用脉冲激光泵浦拉曼活性介质,当达到其受激拉曼散射(Stimulated Raman scattering---SRS)阈值时,介质将产生受激拉曼散射,视介质种类的不同而形成不同频移和不同阶次的斯托
光的衍射是一种很有应用价值的物理现象,而亚波长微结构光栅具有一些常规光栅没有的独特衍射性质.由于亚波长微结构光栅的特征尺寸与波长相近,所以在研究它的性质的时候,必须
该文主要内容包括以下几个方面.首先,我们讨论了玻色-爱因斯坦凝聚体(BEC)的相位控制.目前由弱耦合双组分BEC所构成的玻色约瑟夫森结(BJJ)成为研究热点,在平均场理论基础上预
自从杨振宁[1]和R.J.Baxter[2]分别于1967年与1972年创建了量子杨-巴克斯特方程[3][4][5]以来,量子可积模型[6][7][8][9]方面的研究取得了很大进展,特别是V.G.Drinfeld[10][1
利用LB技术来构造纳米结构有序功能体系，以发展各种应用于高新技术领域的新型高性能纳米结构材料，已成为LB技术发展的主要方向。为了研究膜结构对其组装功能的影响，科学家近期对
无序材料是自然界存在最广的一种材料,近年来,由于无序材料在实际应用中显示出广阔的应用前景,不具有周期结构的无序体系已成为凝聚态物理、材料科学一个重要的方向,特别是对