光的衍射是一种很有应用价值的物理现象,而亚波长微结构光栅具有一些常规光栅没有的独特衍射性质.由于亚波长微结构光栅的特征尺寸与波长相近,所以在研究它的性质的时候,必须采用严格的矢量衍射理论进行研究.在研究过程中,我们发现当满足一定的匹配条件时,会发生窄带导模共振现象.该文运用等效介质法和矢量衍射理论对三角形面形亚波长光栅作了研究分析,并进行了比较.发现当光栅槽深与光栅周期之比较大时,等效介质法和模式理论的计算结果差别不大,此时等效介质法是适用的.但如果光栅槽深与光栅周期之比较小时,会出现导模共振现象,等效介质法不再适用,就必须运用模式理论来处理.我们又深入分析了光栅导模共振异常产生的机制,发现了导模共振异常发生的原因.当发生导模共振现象时,如果参数条件合适,对于TE波和TM波,它们的共振峰都出现在相同位置,此时光栅表现出对偏振态的不敏感性,另外它还具有窄带性、光谱敏感性和角度敏感性.当我们研究镀膜三角形面形亚波长光栅的时候又进一步发现,它具有比普通亚波长光栅更高的衍射效率,而且镀膜三角形面形亚波长光栅允许薄膜的参数有较大的变化范围,在这一变化范围之内它都具有以上的特殊性质,这种性质为镀膜亚波长光栅的制备带来了一定的方便.镀膜亚波长光栅所具有的比一般亚波长光栅更优秀的窄带性、光谱敏感性、角度敏感性和对偏振态的不敏感性等等这些特性,可以用于设计制作性能优越的高反射器、高透射器、窄带滤波器、和高效、低耗能开关元件等等器件.它的这些独有性质对于新型光学器件的研究制作具有很重大的意义.