新型仿生复眼制备及测试研究

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随着MOEMS(微光机电系统)技术的发展,微型化、阵列化、集成化已经成为光学发展的重要方向和当今高科技发展的前沿课题。由于生物复眼具有大视场、高灵敏度、体积小等突出优势,所以仿生复眼作为一种光学器件也引起了众多科学家、研究机构的广泛兴趣。目前,国内外对仿生复眼的研究有了一定的成果,但在排列方式、结构材料、制作工艺等方面都有一定的局限。本文从传统的光刻胶熔融技术的原理出发,从微透镜阵列及仿生复眼的排列方式、形状、结构材料、制作工艺等方面开展了一系列的仿生研究。本文的主要工作和研究成果主要有以下几点:(1)分析了生物复眼的工作机理和当前仿生复眼的研究现状,得出研制一种制作简单、光学材料优良的仿生复眼结构的重要意义;(2)研究了PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)、SU-8胶、NOA73(Norland Optical Adhesive73)等不同材料的工艺参数、性能情况等。并分析了传统光刻胶熔融方法制作微透镜阵列的工作原理、优缺点等;(3)利用新材料NOA73制作出不同排列方式及形状的平面微透镜阵列,并在此基础上利用新工艺制作出曲面微透镜阵列,通过一系列光学性能检测,发现制作出的曲面微透镜阵列具有良好的形貌及光强分布,进一步证明了NOA73材料的微透镜阵列具有优良的光学性能;(4)在曲面微透镜阵列制作及测试的基础上设计出一种新型的集成型方式的仿生复眼结构。对新型复眼结构进行Zemax仿真,通过与传统仿生复眼结构作比较,得出新型复眼结构具有制作简单、光损耗小、光学性能优秀的优良特征;(5)设计并制作新型仿生复眼结构。试验结果证明出本文采用光刻胶熔融法及压印方式制作的仿生复眼结构具有光强分布均匀、成像质量好、具有良好的形貌而且制作简单、成本小,可以进一步研究,这为仿生复眼的实际应用打下良好基础。
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