太阳能电池生产过程中,扩散阶段形成的PN结被称为太阳能电池的心脏。其中PN结方块电阻的大小对电池性能有着重要的影响,因此有必要对扩散的最优方块电阻进行研究,从而提高电池转换效率。另外,烧结的工艺条件和扩散掺杂工艺息息相关,只要扩散掺杂分布改变,就必须对烧结工艺做相应的优化。当今太阳能电池的方块电阻大多为50Ω-60Ω,这是为了保证在丝网印刷时,电极栅线和电池片之间形成良好的欧姆接触。但是重掺杂的情况使载流子发生严重的复合,导致短路电流和开路电压较小。因此,如果能够保证电池有良好的欧姆接触,又可以提高电池的短路电流和开路电压,将大大改善太阳能电池的效率。本论文针对产线的实际情况,提出高方阻的解决方案。在未改变其他工艺参数的条件下,当发射极方块电阻升高时,短路电流持续上升,开路电压在方阻接近70Ω时接近饱和,而填充因子(Fill Factor, FF)则因串联电阻的增加呈下降趋势。器件的效率在70Ω左右时也达到最高。本论文主要以太阳电池基本制造工艺技术为基础,对太阳电池的基本特性(短路电流、开路电压)、输出特性、转换效率等进行说明。本文深入理解磷扩散的基本原理,对扩散的现状进行分析,根据扩散原理,设计实验,得到高方阻电池片,从而改善电池转换效率。