可重入生产线是一种很复杂的制造系统,其典型代表是晶圆生产线。它和传统的流水线制造系统和散件制造系统不同,有着“回流”,设备昂贵等特点,对其设计的研究具有很高的理论与应用价值。 本文采用Petri网与Matlab/SimEvents相结合的建模方法,建立了一条300mm晶圆生产线仿真模型。描述了用Petri网建立该300mm晶圆生产线的总体流程和各个详细步骤,阐述了用SimEvents进行仿真的基本步骤和关键技术。随后针对几种不同的调度方案分别进行仿真,并对仿真结果数据进行比较分析。这验证了这几种调度方案在实际大规模生产线中的有效性,同时也证明了SimEvents配合Petri网是可重入生产线建模仿真的理想选择。本文提出一种基于仿真的多目标协调算法,其目的是寻找同时满足三个给定目标值上界的可行解,可为实际生产线的设计提供参考,来调整设计目标的设定值。本文详细介绍了该算法的设计及实现,并通过典型的算例验证其正确性及效率。接着指出该算法的不足之处,详述了一种可行的解决方法,即用一种数值仿真方法去代替基于SimEvents的仿真,并验证了该方法的有效性。在Matlab环境下实现了可重入生产线仿真及多目标协调设计算法,算法运行的结果为设计人员分析可重入生产线的性能提供了参考。