偏压、靶电流对多弧离子镀制备TiN/TiAlN复合膜组织形貌及性能的影响

被引量 : 8次 | 上传用户:yangliu349
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
TiAlN膜层与TiN膜层相比,具有更高的硬度、耐磨性和高温抗氧化性等。应用领域非常广阔。多弧离子镀技术是制备TiAlN薄膜的常见真空镀膜技术。已有研究报告指出,通过工艺参数的改变对膜层的组织形貌及膜层性能有重要影响。本论文采用多弧离子镀技术先在高速钢M2基体上镀制一层TiN膜层,然后在TiN膜层上镀制TiAlN膜层,交替各镀三次共六层,制备了TiN/TiAlN复合膜层,并对TiN/TiAlN薄膜的性能做了初步探讨。本研究通过改变钛靶电流和负偏压,探讨一定范围内钛靶电流和基体偏压对膜层表面成
其他文献
众所周知,两个谐振体在某些特定条件下具有相同的谐振频率,磁耦合谐振无线功率传输技术简单来说,就是让两个谐振体工作在这个谐振频率上,依靠他们之间的强耦合来进行功率能量的传输的一种较新的技术。无线功率传输是一种安全、方便的功率传输方法,此方法无需任何物理上线路的连接,功率可以近距离或中距离的无接触的传输给负载端。这种使用了磁耦合谐振技术的无线功率传输系统可以无辐射地、高效地将功率由发射端输送到接收端。
学位
实践证明,信息技术与课程整合的研究成果对学科教学具有重大的指导意义,如何更好地将整合理论应用于学科教学,指导教学活动,是值得不断探索的课题。本文着眼于课堂内外的教学环节,对宁夏大学信息技术与电磁学课程整合进行研究。研究目的是探究宁夏大学信息技术与电磁学课程整合的途径和现状,总结经验,为宁夏大学电磁学课程的教学改革及同类地区同类高校的师范生培养提供整合参考。本文共分五部分。首先,介绍课题的研究背景、
学位
环偶极子是一种普遍存在于原子核,DNA以及一些铁电材料中的偶极子。与电偶极子和磁偶极子不同,虽然环偶极子也是一种基本的电磁响应,但是环偶极子的构成要远比电偶极子以及磁偶极子复杂。然而,由于环偶极子的电磁响应比较微弱,通常被电偶极子或磁偶极子所掩盖,因此在很长的一段时间都被人们所忽视。并且,虽然在核物理和粒子物理学中的宇称不守恒都能证明环偶极子的存在,但是长久以来都没有人能够直接证明环偶极子的存在。
学位
高温超导体在1986年首次发现以来,就一直是科学家研究的重点和热点。由于其奇特的物理性质和良好的应用前景,人们在一直努力改善和提高它的性能。对YBCO超导体而言,改进制备技术、掺杂引入纳米磁通钉扎中心、制备大尺寸的单畴超导体等都是该领域研究的主要方向。在制备大尺寸高质量的YBCO超导块材方面,顶部籽晶熔渗生长法(TSIG法)是最有效的方法之一,它能有效的防止样品的成份偏析、液相流失、以及保持初始几
学位
YBCO超导体一直是人们重点关注和研究的高温材料之一。采用顶部籽晶熔渗生长法(TSIG)能够制备出该类晶体材料,为了进一步提高其性能,就必须在YBCO超导块材中形成有效的磁通钉扎中心,进而提高超导块材的临界电流密度和磁悬浮力。已有的实验结果证明,非超导的第二相粒子掺杂是在YBCO超导块材中引入磁通钉扎中心的主要方法之一,这种方法操作简单、成本低并能很好的改善块材的性能。本文采用TSIG法,通过在固
学位
本论文实验研究所使用的三种实验材料是制造飞机起落架的液压气密零件时最常用的材料:15-5PH(0Cr15Ni5Cu3Nb)和1Cr11Ni2W2MoVA不锈钢,30CrMnSiA合金钢,在标准镀铬液的条件下,双向脉冲镀铬电流参数对镀铬层延迟裂纹影响进行了研究。初定双向脉冲工艺参数,电镀时间为90分钟,电镀温度为55±1℃,初选脉冲工艺参数范围为:脉冲频率为50~150Hz、正向脉冲和反向脉冲电流密
学位
固体氧化物燃料电池(Solid Oxide Fuel Cell,简称SOFC)是一种高效率、低污染、操作简单的全固态中高温发电装置,由于具有可持续发展性,近年来受到越来越多的关注。但是高的操作温度限制了SOFC的商业化应用,因此SOFC中低温化是其发展的主要趋势,但是操作温度降低会导致电极极化增大,降低电池性能,所以开发在中低温下具有良好性能的电极材料或者提高传统材料在中低温区的性能是迫切的需要。
学位
进入21世纪以来,微细加工技术作为MEMS(微机电系统)产业化的重要基础,发展非常迅速。LIGA(即光刻、电铸和注塑)与UV-LIGA技术是两种非常重要的微细加工技术。在微纳加工领域经常会需要一些具有高深宽比的微结构,而LIGA和UV-LIGA技术的工艺特点就是制备具有高深宽比的微结构。LIGA与UV-LIGA技术的工艺过程主要区别在于,LIGA技术的曝光光源为同步X射线源,UV-LIGA技术只需
学位
电沉积镍具有优异的导电、导热性能,低内应力,良好的韧性与强度,并且通过LIGA技术可以制作出高深宽比的结构,在MEMS器件中得到了广泛的应用。然而纯镍在室温下就会发生一定的蠕变变形,这使其制作的诸如功率型、电热致动、高温应用、长期受应力作用等类型的MEMS结构与器件面临长期可靠性低的风险。选择纳米Al_2O_3颗粒作为弥散增强的第二相粒子,并通过复合电镀的方法复合进入镀镍层中,以改善镀镍层蠕变性能
学位
随着微电子技术的飞速发展,便携式电子设备的芯片体积越来越小,但由于无线网络在日常生活中的普及,电子设备的耗电量却与日俱增,因此便携式微小型储能设备成为能源研究领域的研究重点。在众多供能设备中,直接甲醇燃料电池因为具有结构简单易于集成化、燃料来源广泛、产物无污染、启动速度快等优点而成为最有可能实现商业化的可移动能源之一。为了满足用电器的功率需求,直接甲醇燃料电池在应用中往往通过级联的方式而形成电池组
学位