作为前沿科技—纳米技术发展的关键技术之一，精密定位技术己成为许多现代工业领域和前沿科学技术研究的共同基础。压电陶瓷微位移驱动器具有体积小，位移分辨率高，频响高，承载力大等特点，广泛应用于精密定位技术中。但是，由于压电陶瓷微位移驱动器本身固有的迟滞、蠕变特性，给精密定位系统的控制带来了困难。所以如何建立压电陶瓷微位移驱动器非线性模型，进行精确的控制来提高精密定位系统控制精度就显得尤为重要。本文在分析国内外压电陶瓷微位移驱动器研究现状的基础上，阐述了压电陶瓷微位移驱动器的驱动原理，并从微观角度给予进一步的说明。对压电陶瓷微位移驱动器的特性进行了分析，同时设计了加载装置，在不同的载荷下测定了压电陶瓷微位移驱动器的输出特性。针对压电陶瓷微位移驱动器的位移迟滞特性，对测得的数据进行了正交试验处理，采用回归分析方法和BP神经网络，建立了有负载的压电陶瓷微位移驱动器的位移输出特性的数学模型，并进行了实验验证。结果表明，所建立的模型能较好地模拟压电陶瓷微位移驱动器的迟滞特性，为提高精密定位系统的控制精度进行有益的尝试。