【摘 要】
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在精密测量时,由于测量精度要求达到微米甚至是纳米级别,接触式检测方法容易产生弹性形变而影响测量精度,甚至对被测元件表面造成磨损,因此,非接触式测量更利于精密检测。非
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在精密测量时,由于测量精度要求达到微米甚至是纳米级别,接触式检测方法容易产生弹性形变而影响测量精度,甚至对被测元件表面造成磨损,因此,非接触式测量更利于精密检测。非接触式检测方法具有测量速度快,测量精度高等优点,故越来越广泛的应用在精密测量中。现在市场上的非接触测量仪器主要有电容传感器、电感传感器、激光干涉仪等,但是成本较高,且不易于搬运和携带,操作复杂,故其应用范围比较局限。本文在研究数字多功能光盘(DVD)激光头的自动聚焦原理的基础上,利用音圈电机的位移与其驱动电压在一定范围内呈线性的方法,对DVD激光头聚焦误差信号进行补偿放大得到伺服聚焦误差信号,即音圈电机的驱动电压,从而得到位移量。本文设计了微位移测量系统并进行测试,分析了测试结果及误差产生因素。基于DVD激光头测微位移的检测方法精度高、检测成本低,测量范围能达到200um,测量精度达到200nm,可广泛应用于各种复杂的精密检测中。
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