本文简单介绍激光的基本原理，着重说明了激光器光学谐振腔上的高反射膜的作用。详细研究了该腔面膜的优化和工艺制备过程。 由激光器自身解理面形成的谐振腔面，反射率仅有32％。为了获得高的增益和激光的收集利用使得阈值电流降低，提高量子效率和激光的输出功率，在谐振腔的腔面上镀制光学薄膜。前端面镀增透膜增加了光的透过能力，后端面镀制高反膜。采用Al₂O₃和SiO₂-Si组合作为多层介质高反膜堆，其具备吸收小，散射少等优点，使得反射率从32％提高到97％以上。同时，镀制的膜层保护了器件端面，延长了器件的工作寿命。 该实验采用的设备是Integrity-36全自动真空镀膜机，利用电子束和离子辅助进行沉积镀膜，采用UV3100PC分光光度计测试光谱特性曲线，并用M-44椭偏仪进行膜层分析，给出了实验曲线和实验数据，以及综合评价结果。