近年来,工业废气以及汽车尾气的排放严重危害着人类的身体健康,因此,为了给人们提供一个清洁健康的生活环境,需要对大气中的污染物进行及时有效的检测与治理。气敏传感器作为一种功能器件,在气体检测方面做出了巨大的贡献。因此,具有低成本,高灵敏度以及结构简单等优点的气敏传感器将是目前研究的重点,其中对于金属氧化物气敏传感器的研究最受欢迎。市场上常见的金属氧化物气敏传感器大多是以SnO₂、ZnO、WO₃和Fe₂O₃为基,而WO₃作为一种n型半导体材料,因其具有独特的电致变色性能、光催化性能以及气敏性能被广泛关注。本文主要研究了纳米WO₃的气敏性能,主要研究内容与结果如下:首先,以草酸作为形貌控制剂采用溶液法制备纳米WO₃薄膜与纳米WO₃粉体。分别用X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）分析了WO₃的组成和微观形貌。通过XRD分析可知纳米WO₃粉体在热处理之前为WO₃·2H₂O和WO₃·H₂O的混合物,经过400℃热处理之后转变为单斜相WO₃;通过对薄膜和粉体的微观形貌分析可知,纳米WO₃薄膜表现为交叉排列的片状结构,纳米片之间存在间隙,纳米粉体的微观形貌则表现为更小尺寸的片状结构,纳米片之间无序的堆积排列;经过对比由WO₃薄膜与WO₃粉体制成的气敏元件的气敏性能可以得出,薄膜型气敏元件对NO₂气体具有更高的灵敏度,并且在保温时间为90 min时,灵敏度值最高可达6.72。然后,以柠檬酸作为形貌控制剂采用溶液法制备纳米WO₃薄膜与纳米WO₃粉体,热处理前的纳米WO₃粉体为WO₃·2H₂O和WO₃·H₂O的混合物,热处理之后转化为三斜相WO₃;WO₃薄膜的微观结构依然为交叉排列的纳米片状结构,并且在表面有大量裂纹,而纳米粉体的微观形貌则表现为纳米片组成的微球状;经过对比由WO₃薄膜与WO₃粉体制成气敏元件的气敏性能可以得出,薄膜型气敏元件具有更好的气敏性能,但是其稳定性相对较差,需要进一步提高。最后,采用溶胶-凝胶法在WO₃薄膜上复合不同层数的SiO₂薄膜。研究发现,经过两层SiO₂薄膜复合的WO₃薄膜（WS-2）具有更好的气敏性能,在250℃条件下对H₂S气体的灵敏度达到了100以上,并可以对10 ppm H₂S气体实现有效检测,在经过50天的稳定性测试之后灵敏度依然保持在75%左右。