微系统拟实环境研究

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该文将微型系统和微操作系统统称为微系统.微型系统通常是指导外形很小的系统,例如微电子机械系统(MEMS);微操作系统是指其操作尺度极小、精度很高的系统,例如能进行细胞级操作的微操作机器人系统.MEMS被誉为微电子技术发展的又一里程碑,是21世纪的关键技术.由于微电子工艺制作周期长,而目前MEMS的研究主要还是依赖经验和反复试探,因而存在设计周期长、费用高等问题.细胞级微操作在微电子工程、生物工程等领域中越来越被广泛的应用.由于微操作工具和被操作对象的几何尺度及操作空间的限制,一般操作成功率低,制约了这项技术的普及和应用.为此,该文提出了在微系统中引入虚拟现实技术的想法,相应进行了微系统拟实环境的研究,包括虚拟环境行为和虚拟对象行为两个方面.
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