集成电路随着制作工艺的发展，集成化密度越来越高，其中传统的电互连线也随着这种发展暴露出日益严重的问题。而光互连由于在解决电互连的这些问题上具有相当多的优点，因此成为将来集成电路发展的一个最具潜力的方向之一。聚合物光波导是光互连材料中各方面性能以及成本都比较突出的一类材料。本文即是以聚合物波导材料出发，针对光互连中的关键器件—MZI型电光调制器进行了设计和仿真。本文先从总的方面介绍了光互连的背景以及发展，然后从波导理论出发，对光波导的二维以及三维结构进行了理论分析。然后针对聚合物光波导材料以及特点进行了详细的介绍，并且对聚合物电光调制器的基本理论进行了分析。结合beamprop软件，基于本文所采用的聚合物波导材料，详细分析了各项参数对脊型波导有效折射率的影响，得到了可行的脊型单模条件。然后对有机聚合物脊型波导进行了理论上的分析和仿真，主要针对弯曲损耗进行了分析。然后在该脊型结构的基础上，对调制器的Y分支结构进行了理论分析和建模仿真。分析了S型Y分支结构的各个参数，并且作为对比，还分析了支臂型Y分支结构。经过仿真对比，最终选取S型Y分支做为MZI型调制器的Y分支结构，并且得到了一组可行的结构参数。最后结合以上仿真结构，构建了MZI型聚合物电光调制器，并分析了它的光场和半波电压。