膜片式微振动光纤传感器的核心技术是高灵敏度传感膜片的制作及传感膜片与探测光的耦合方式。本文使用液相化学反应生成了一种纳米银膜,使用纳米银膜设计出一种高灵敏度的微振动传感器；使用相位载波(PGC)零差解调方法,构建了一种微振动光纤传感器系统。实验结果充分证明,此传感器系统结构简单,体积小,对声压、光压的具有理想的感应灵敏度及检测线性度：此传感器可应用于声音传感、微振动传感、光压传感、光功率测量等。银膜的声压响应灵敏度为160nm/Pa,其底噪最小可检测压力灵敏度为14.5μPa/Hz1/2；其感应光功率改变量的灵敏度为5.1nm/mW。第一章：首先,介绍了光纤传感器的研究状况及膜片式光纤传感器的发展历程。其次,提出本论文研究的目的和意义。第二章：分析干涉型光纤传感器传感原理,并详细介绍了马赫曾德干涉仪的传感原理及光纤干涉仪的解调方法—相位载波(PGC)零差法的载波原理及解调原理。这是整个论文工作的理论准备。第三章：首先,介绍了金属膜片的制作工艺：其次,详细介绍了纳米银膜传感探头的制作；最后介绍了传感探头的安装。第四章：对本论文提出并制造的基于纳米银膜的微振动光纤传感器系统,通过对声压及光压信号的测试,进行了对银膜压力感应特性的研究。设计了传感器银膜振动幅的标定实验；设计了银膜探头的声压响应实验,确定了银膜振动幅与声压强度的关系,并得到了银膜的声压响应灵敏度为160nm/Pa,高于目前已报道的研究成果两个数量级；设计了微振动光纤传感器的光压强度检测实验,其感应光功率改变量的灵敏度为5.1nm/mW;设计了微振动光纤传感器的双波长光波的光压强度检测实验。第五章：首先对本论文的内容进行了总结和回顾；其次,在吸取国内外相关的最新研究成果、本论文所取得的研究成果及发现的不足之处的基础上,对今后的研究工作做了展望以及实验改进的设想。